模具真空热处理中主要的是真空油冷淬火、真空气冷淬火和真空回火。为保持工件（如模具）真空加热的特性，冷却剂和冷却工艺的选择及制定很重要，模具淬火过程采用油冷和气冷。对于热处理后不再进行机械加工的模具工作面，淬火后尽可能采用真空回火，特别是真空淬火的工件（模具），它可以提高与表面质量相关的机械性能，如疲劳性能、表面光亮度、耐腐蚀性等。

 

  热处理过程的计算机模拟技术的成功开发和应用，使得模具的智能化热处理成为可能。由于模具生产的小批量（甚至是单件）、多品种的特性，以及对热处理性能要求高和不允许出现废品的特点。 模具在工作中除了要求基体强度和韧性的合理配合外，其表面性能对模具的工作性能和使用寿命也很重要。模具的表面处理技术，是通过表面涂覆、表面改性或复合处理技术，改变模具表面的形态、化学成分、组织结构和应力状态，以获得所需表面性能的系统工程。